JEOL已經完成了JPS 9030 X射線光電子能譜儀的開發,并于2015年4月10日開始銷售。
近年來,對于高質量、快速、操作簡單的表面分析儀器,以及對任何水平的用戶和任何種類的樣品都可實現高重復性分析的表面分析儀器的需求越來越多。JPS-9030采用了新設計的用戶操作界面,能夠進一步提升可操作性,并采用了巧妙的、新的現代化的時尚外觀設計。
JPS-9030采用新開發的Kaufman型蝕刻離子源可提供的蝕刻速率為1納米/分鐘至100納米/分鐘(SiO2),并允許寬范圍的設置。它能夠適用于任何應用的剖面分析,從要求精度的分析到需要速度的分析。
JPS-9030利用新開發的軟件使得操作更加簡便。SpecSurf Ver. 2.0現在采用了帶狀式的圖形用戶界面,在一個用戶友好環境中,所有操作都只需動動鼠標就能完成。利用日本電子公司自有的自動定性分析功能,對多個采樣點能夠依次進行定性,定量和化學態分析。
JPS-9030支持如角分辨XPS(ARXPS)和全反射XPS(TRXPS)技術,并且能夠對表層1nm深度進行超靈敏分析(標準測量方法為6nm以上)。
JPS-9030的銷售量目標為每年20臺。