測量精密零件，如平面、圓柱等表面粗糙度(光潔度),也可以測量表面刻線、鍍層深度等，利用附件還能測量微顆粒、加工紋路、或低反射率的表面，也能將儀器安置在大型工件上進行測量，是計量室和經典教學儀器之一。

●  不平深度測量范圍：1～0.03µm (光潔度▽10～▽14)

●  放大倍數：500×,分劃值0.01mm,測微目鏡分劃0.1mm.

●  綠色干涉濾光片：波長λ≈5300À,半寬度▽λ≈100À.

●  標準鏡：高反射率≈60%,低反射率≈4%.