中標清華大學“高分辨高靈敏度表面分析系統采購項目”

本項目的最終用戶為清華大學材料科學與工程研究院中心實驗室，該中心實驗室始建于1980年，當時稱為清華大學材料科學研究所中心實驗室。此后實驗室得到快速發展，目前中心實驗室的公用平臺有各類大型精密分析測試儀器50多臺套，在儀器及其功能數量方面，與同類實驗室相比，在國內處于領先地位。

清華大學材料科學與工程研究院中心實驗室是面向全校和校外開放服務的分析測試平臺，為清華大學校內外相關領域的研究人員、科學家、工程師提供服務，主要做材料的結構、組分及性能的測試分析，因此對材料微區表面的分析具有很高的要求，而這也是TESCAN微分析綜合解決方案的優勢所在。

清華大學材料學院逸夫樓—中心實驗室所在址

本次項目采購的設備主要用于高分辨表面形貌分析、微區的高靈敏度成分、結構分析及快速的三維重構等應用，而中標的系統是TESCAN S9000X氙等離子源雙束FIB，配置了TESCAN獨有的共聚焦拉曼（Raman）聯用系統及飛行時間—二次離子質譜（TOF-SIMS）聯用系統，再加上第三方提供的EDS、EBSD，構建了一整套高分辨、高靈敏度的微觀綜合分析系統。

這是目前國內第一臺在氙等離子源FIB上配置的“顯微綜合分析平臺”，集微觀形貌、元素分析、取向分析、結構分析、分子組成、結晶及應力等多種信息表征為一體，是TESCAN“All-In-One”微區綜合表征理念的完美體現！同時，這臺設備也是國內第6套電鏡-拉曼聯用系統和第5套雙束電鏡-飛行時間二次離子質譜聯用系統。

清華大學材料科學與工程研究院中心實驗室

自2011年，TESCAN全球首次推出氙等離子源FIB系統，到如今的S9000X系統，產品已經發展到第四代，在軟硬件設計、電子槍、離子槍的性能等方面都有了很大提升，S9000X氙等離子源雙束FIB系統，目前已可以實現1mm視野的大面積加工。

氙等離子源的FIB系統相比于傳統的鎵離子源FIB系統，具有切削加工速度快（束流最高可達2uA，是鎵離子FIB的50~60倍）、注入效應小等優點，是大尺寸快速加工、大體積三維重構、高質量TEM樣品制備的有力工具，以往需要耗時多日才能完成的工作，借助Xe Plasma FIB系統，在幾個小時之內便可全部完成，這極大地提高了科研效率。

 TESCAN S9000X氙等離子源雙束FIB系統

除清華大學材料科學與工程研究院中心實驗室（即材料學院分析測試中心）剛剛采購的這臺設備外，上海交通大學分析測試中心也采購了類似的“顯微綜合分析”系統，其中雙束FIB—飛行時間二次離子質譜聯用系統已投入使用1年多，為客戶解決了諸多問題；而與共聚焦拉曼的聯用系統也將在今年11月，在新實驗樓驗收后安裝。

TESCAN獨有的微分析綜合解決方案能迅速受到市場的認可和歡迎，充分體現了TESCAN電鏡在微區綜合分析能力上的強大優勢。

更值得一提的是，TESCAN產品“All-In-One”的設計理念，使得用戶可以在后期根據需要，非常方便地加配原子力顯微鏡、EBL、EBIC、CL及原位的加熱臺、冷臺、拉伸臺等探測器和分析拓展附件，為科研成功創造更多可能！