基于25年涂鍍層測量經(jīng)驗，在CMI900系列測厚儀的堅實基礎上，引進全新的設計：
· 新100瓦X射線管 - 市場上所能提供的最強大的X射線管。提高30%測量精度，同時減少50%測量時間
· 更小的X射線光斑尺寸 - 新增15mil直徑準直器，可測量電子器件上更小的部位。提供改進的CCD攝像頭及縮放裝置，同時提供更高精度的Y軸控制。
· 距離獨立測量（DIM） - 更靈活地特殊形狀樣品，可在DIM范圍內(nèi)12.5-90mm（0.5-3.5inch）對樣品表面進行測量，Z軸可控制范圍為230mm（9inch）。可通過手動調(diào)整也可以通過自動鐳射聚焦來實現(xiàn)對樣品的精確對準。
· 自動鐳射聚焦 - 自動尋找振決的聚焦距離，改善DIM的聚焦過程并提高系統(tǒng)測量再現(xiàn)性。也可選擇標準的鐳射聚焦模式。
· 全新的大型樣品室 - 更大的開槽式樣品室（580x510x230mm : 23x20x9inch）,開槽式設計可容納超大尺寸的樣品。可從各個方向簡便的裝載和觀察樣品。
· 3種樣品臺選項 - XY程控控制(200x200mm或8x8inch移動范圍)/XY手動控制（250x250mm或10x10英寸）/固定樣品臺；標準配置Z軸程控控制(230mm或9inch移動范圍)。
· 內(nèi)置PC用戶界面